離子濺鍍機
Ion Sputter Coater
【COXEM】掃描式電子顯微鏡
SPT-20
SPT-20 離子鍍膜機是一種利用直流濺鍍原理將導電材料(金、鉑、鈀、鉑鈀)鍍膜到樣品表面的設備。非導電樣品也用於在電子顯微鏡下進行觀察,用來保護樣品表面不受注入的電子束的影響,並幫助電子流動。它也可用於薄膜型電極的形成。